TY  - RPRT
TI  - Growth and characterization of single crystal cubic TaN and hexagonal Ta$_2$N films on c-plane Sapphire
AU  - Anand Ithepalli
AU  - Amit Rohan Rajapurohita
AU  - Arjan Singh
AU  - Rishabh Singh
AU  - John Wright
AU  - Farhan Rana
AU  - Valla Fatemi
AU  - Huili
AU  - Xing
AU  - Debdeep Jena
PY  - 2025
DO  - 10.1063/5.0267713
UR  - https://arxiv.org/abs/2502.18723
ID  - 2502.18723
ER  -