TY  - RPRT
TI  - Frequency domain identification for multivariable motion control systems: Applied to a prototype wafer stage
AU  - M. van der Hulst
AU  - R. A. González
AU  - K. Classens
AU  - P. Tacx
AU  - N. Dirkx
AU  - J. van de Wijdeven
AU  - T. Oomen
PY  - 2025
UR  - https://arxiv.org/abs/2503.02869
ID  - 2503.02869
ER  -