TY  - RPRT
TI  - Medusa 84 SiH -- A novel high Selectivity Electron Beam Resist for Diamond Quantum Technologies
AU  - Oliver Roman Opaluch
AU  - Sebastian Westrich
AU  - Nimba Oshnik
AU  - Philipp Fuchs
AU  - Jan Fait
AU  - Sandra Wolff
AU  - Harry Biller
AU  - Mandy Sendel
AU  - Christoph Becher
AU  - Elke Neu
PY  - 2025
DO  - 10.1557/s43579-025-00757-2
UR  - https://arxiv.org/abs/2503.04845
ID  - 2503.04845
ER  -