TY  - RPRT
TI  - Highly Uniform Thermally Undercut Silicon Photonic Devices in a 300 mm CMOS Foundry Process
AU  - Robert Parsons
AU  - Kaylx Jang
AU  - Yuyang Wang
AU  - Asher Novick
AU  - A. Matthew Smith
AU  - Christopher C. Tison
AU  - Yonas Gebregiorgis
AU  - Venkatesh Deenadayalan
AU  - Matthew van Niekerk
AU  - Lewis Carpenter
AU  - Tat Ngai
AU  - Gerald Leake
AU  - Daniel Coleman
AU  - Xiang Meng
AU  - Stefan Preble
AU  - Michael L. Fanto
AU  - Keren Bergman
AU  - Anthony Rizzo
PY  - 2025
UR  - https://arxiv.org/abs/2503.09009
ID  - 2503.09009
ER  -