TY - RPRT TI - Compensating Hysteresis and Mechanical Misalignment in Piezo-Stepper Actuators AU - Max van Meer AU - Tim van Meijel AU - Emile van Halsema AU - Edwin Verschueren AU - Gert Witvoet AU - Tom Oomen PY - 2025 UR - https://arxiv.org/abs/2503.13079 ID - 2503.13079 ER -