TY  - RPRT
TI  - Low-loss Nb on Si superconducting resonators from a dual-use spintronics deposition chamber and with acid-free post-processing
AU  - Maciej W. Olszewski
AU  - Jadrien T. Paustian
AU  - Tathagata Banerjee
AU  - Haoran Lu
AU  - Jorge L. Ramirez
AU  - Nhi Nguyen
AU  - Kiichi Okubo
AU  - Rohit Pant
AU  - Aleksandra B. Biedron
AU  - Daniel C. Ralph
AU  - Christopher J. K. Richardson
AU  - Gregory D. Fuchs
AU  - Corey Rae H. McRae
AU  - Ivan V. Pechenezhskiy
AU  - B. L. T. Plourde
AU  - Valla Fatemi
PY  - 2026
DO  - 10.1063/5.0325435
UR  - https://arxiv.org/abs/2503.13285
ID  - 2503.13285
ER  -