TY  - RPRT
TI  - Sustainable wafer-scale integration of epitaxial ZnO on silicon for piezoelectric devices
AU  - D. Sanchez-Fuentes
AU  - R. Desgarceaux
AU  - A. Rahal
AU  - L. Garcia
AU  - S. Bousri
AU  - S. Ding
AU  - N. Camara
AU  - F. Pascal
AU  - R. Garcia-Bermejo
AU  - N. Guillaume
AU  - G. Ardila
AU  - J. Gazquez
AU  - C. Magen
AU  - S Plana-Ruiz
AU  - C. Guasch
AU  - A. Carretero-Genevrier
PY  - 2025
UR  - https://arxiv.org/abs/2503.14069
ID  - 2503.14069
ER  -