TY - RPRT TI - In situ engineering hexagonal boron nitride in van der Waals heterostructures with selective SF6 etching AU - Hitesh Agarwal AU - Antoine Reserbat-Plantey AU - David Barcons Ruiz AU - Karuppasammy Soundarapandian AU - Geng Li AU - Vahagn Mkhitaryan AU - Johann Osmond AU - Helena Lozano AU - Kenji Watanabe AU - Takashi Taniguchi AU - Petr Stepanov AU - Frank. H. L. Koppens AU - Roshan Krishna Kumar PY - 2025 UR - https://arxiv.org/abs/2503.14238 ID - 2503.14238 ER -