TY  - RPRT
TI  - Fabrication Optimization of van der Waals Metasurfaces: Inverse Patterning Boosts Resonance Quality Factor
AU  - Jonas Biechteler
AU  - Connor Heimig
AU  - Thomas Weber
AU  - Dmytro Gryb
AU  - Luca Sortino
AU  - Stefan A. Maier
AU  - Leonardo de S. Menezes
AU  - Andreas Tittl
PY  - 2025
UR  - https://arxiv.org/abs/2503.17128
ID  - 2503.17128
ER  -