TY  - RPRT
TI  - CMOS-compatible vanadium dioxide via Pulsed Laser and Atomic Layer deposition: towards ultra-thin film phase-change layers
AU  - Anna Varini
AU  - Cyrille Masserey
AU  - Vanessa Conti
AU  - Zahra Saadat Somaehsofla
AU  - Ehsan Ansari
AU  - Igor Stolichnov
AU  - Adrian M. Ionescu
PY  - 2025
UR  - https://arxiv.org/abs/2504.10056
ID  - 2504.10056
ER  -