TY - RPRT TI - Demonstration of highly scaled AlScN ferroelectric diode memory with storage density > 100 Mbit/mm$^2$ AU - Zekun Hu AU - Hyunmin Cho AU - Rajeev Kumar Rai AU - Kefei Bao AU - Yinuo Zhang AU - Zhaosen Qu AU - Yunfei He AU - Yaoyang Ji AU - Chloe Leblanc AU - Kwan-Ho Kim AU - Zirun Han AU - Zhen Qiu AU - Xingyu Du AU - Eric A. Stach AU - Roy Olsson AU - Deep Jariwala PY - 2025 UR - https://arxiv.org/abs/2504.13283 ID - 2504.13283 ER -