TY  - RPRT
TI  - Positive-tone Nanolithography of Antimony Trisulfide with Femtosecond Laser Wet-etching
AU  - Abhrodeep Dey
AU  - Uwe Hübner
AU  - Albane Benardais
AU  - Xiaofei Wu
AU  - Andrea Dellith
AU  - Jan Dellith
AU  - Torsten Wieduwilt
AU  - Henrik Schneidewind
AU  - Markus A Schmidt
AU  - Virginie Nazabal
AU  - Volker Deckert
AU  - Jer-Shing Huang
AU  - Wei Wang
PY  - 2025
UR  - https://arxiv.org/abs/2504.15858
ID  - 2504.15858
ER  -