TY  - RPRT
TI  - CMOS-compatible processing and room-temperature characterization on wafer-level for scalable quantum computing
AU  - S. J. K. Lang
AU  - T. Mayer
AU  - J. Weber
AU  - C. Dhieb
AU  - I. Eisele
AU  - W. Lerch
AU  - Z. Luo
AU  - C. Moran Guizan
AU  - E. Music
AU  - L. Sturm-Rogon
AU  - D. Zahn
AU  - R. N. Pereira
AU  - C. Kutter
PY  - 2025
UR  - https://arxiv.org/abs/2504.18173
ID  - 2504.18173
ER  -