TY  - RPRT
TI  - Thin-film scandium aluminum nitride bulk acoustic resonator with high Q of 208 and K2 of 9.5% at 12.5 GHz
AU  - Sinwoo Cho
AU  - Yinan Wang
AU  - Eugene Kwon
AU  - Lezli Matto
AU  - Omar Barrera
AU  - Michael Liao
AU  - Jack Kramer
AU  - Tzu-Hsuan Hsu
AU  - Vakhtang Chulukhadze
AU  - Ian Anderson
AU  - Mark Goorksy
AU  - Ruochen Lu
PY  - 2025
UR  - https://arxiv.org/abs/2504.20014
ID  - 2504.20014
ER  -