TY  - RPRT
TI  - Growth Mechanisms and Mechanical Response of 3D Superstructured Cubic and Hexagonal Hf$_{1-x}$Al$_x$N Thin Films
AU  - M. Lorentzon
AU  - N. Takata
AU  - D. Depla
AU  - T. Zhu
AU  - G. Greczynski
AU  - R. Hahn
AU  - A. Zubayer
AU  - J. Palisaitis
AU  - H. Riedl
AU  - D. Kim
AU  - L. Hultman
AU  - J. Birch
AU  - N. Ghafoor
PY  - 2025
UR  - https://arxiv.org/abs/2505.03606
ID  - 2505.03606
ER  -