TY  - RPRT
TI  - In-situ and Non-contact Etch Depth Prediction in Plasma Etching via Machine Learning (ANN & BNN) and Digital Image Colorimetry
AU  - Minji Kang
AU  - Seongho Kim
AU  - Eunseo Go
AU  - Donghyeon Paek
AU  - Geon Lim
AU  - Muyoung Kim
AU  - Soyeun Kim
AU  - Sung Kyu Jang
AU  - Min Sup Choi
AU  - Woo Seok Kang
AU  - Jaehyun Kim
AU  - Jaekwang Kim
AU  - Hyeong-U Kim
PY  - 2025
UR  - https://arxiv.org/abs/2505.03826
ID  - 2505.03826
ER  -