TY - RPRT TI - Copper Damascene Process-Based High-Performance Thin Film Lithium Tantalate Modulators AU - Mengxin Lin AU - Zihan Li AU - Alexander Kotz AU - Hugo Larocque AU - Johann Riemensberger AU - Christian Koos AU - Tobias J. Kippenberg PY - 2025 UR - https://arxiv.org/abs/2505.04755 ID - 2505.04755 ER -