TY - RPRT TI - CMOS-Compatible, Wafer-Scale Processed Superconducting Qubits Exceeding Energy Relaxation Times of 200us AU - T. Mayer AU - J. Weber AU - E. Music AU - C. Moran Guizan AU - S. J. K. Lang AU - L. Schwarzenbach AU - C. Dhieb AU - B. Kiliclar AU - A. Maiwald AU - Z. Luo AU - W. Lerch AU - D. Zahn AU - I. Eisele AU - R. N. Pereira AU - C. Kutter PY - 2025 UR - https://arxiv.org/abs/2505.08424 ID - 2505.08424 ER -