TY  - RPRT
TI  - Low-loss Sb$_2$S$_3$ Optical Phase Shifter Enabled by Optimizing Sputtering Conditions
AU  - Yuto Miyatake
AU  - Tomohiro Anda
AU  - Yosuke Wakita
AU  - Kotaro Makino
AU  - Shogo Hatayama
AU  - Makoto Okano
AU  - Kasidit Toprasertpong
AU  - Shinichi Takagi
AU  - Mitsuru Takenaka
PY  - 2025
UR  - https://arxiv.org/abs/2505.10752
ID  - 2505.10752
ER  -