TY  - RPRT
TI  - High yield, low disorder Si/SiGe heterostructures for spin qubit devices manufactured in a BiCMOS pilot line
AU  - Alberto Mistroni
AU  - Marco Lisker
AU  - Yuji Yamamoto
AU  - Wei-Chen Wen
AU  - Fabian Fidorra
AU  - Henriette Tetzner
AU  - Laura K. Diebel
AU  - Lino Visser
AU  - Spandan Anupam
AU  - Vincent Mourik
AU  - Lars R. Schreiber
AU  - Hendrik Bluhm
AU  - Dominique Bougeard
AU  - Marvin H. Zoellner
AU  - Giovanni Capellini
AU  - Felix Reichmann
PY  - 2025
UR  - https://arxiv.org/abs/2506.14660
ID  - 2506.14660
ER  -