TY - RPRT TI - Improving the lifetime of aluminum-based superconducting qubits through atomic layer etching and deposition AU - Neha Mahuli AU - Joaquin Minguzzi AU - Jiansong Gao AU - Rachel Resnick AU - Sandra Diez AU - Cosmic Raj AU - Guillaume Marcaud AU - Matthew Hunt AU - Loren Swenson AU - Jefferson Rose AU - Oskar Painter AU - Ignace Jarrige PY - 2026 UR - https://arxiv.org/abs/2506.17474 ID - 2506.17474 ER -