TY - RPRT TI - Integrated optomechanical ultrasonic sensors with nano-Pascal-level sensitivity AU - Xuening Cao AU - Hao Yang AU - Min Wang AU - Zhi-Gang Hu AU - Zu-Lei Wu AU - Yuanlei Wang AU - Jian-Fei Liu AU - Xin Zhou AU - Jincheng Li AU - Chenghao Lao AU - Qi-Fan Yang AU - Bei-Bei Li PY - 2025 UR - https://arxiv.org/abs/2506.20219 ID - 2506.20219 ER -