TY  - RPRT
TI  - Simplified Aluminum Nitride Processing for Low-Loss Integrated Photonics and Nonlinear Optics
AU  - Haochen Yan
AU  - Shuangyou Zhang
AU  - Arghadeep Pal
AU  - Alekhya Gosh
AU  - Abdullah Alabbadi
AU  - Masoud Kheyri
AU  - Toby Bi
AU  - Yaojing Zhang
AU  - Irina Harder
AU  - Olga Lohse
AU  - Florentina Gannott
AU  - Alexander Gumann
AU  - Eduard Butzen
AU  - Katrin Ludwig
AU  - Pascal DelHaye
PY  - 2025
UR  - https://arxiv.org/abs/2506.22595
ID  - 2506.22595
ER  -