TY - RPRT TI - 3D surface profiling via photonic integrated geometric sensor AU - Ziyao Zhang AU - Yizhi Wang AU - Chunhui Yao AU - Huiyu Huang AU - Rui Ma AU - Xin Du AU - Wanlu Zhang AU - Zhitian Shi AU - Minjia Chen AU - Ting Yan AU - Liang Ming AU - Yuxiao Ye AU - Richard Penty AU - Qixiang Cheng PY - 2025 UR - https://arxiv.org/abs/2506.23187 ID - 2506.23187 ER -