TY  - RPRT
TI  - The impact of process steps on nearly ideal subthreshold slope in 300-mm compatible InGaZnO TFT
AU  - Hongwei Tang
AU  - Dennis Lin
AU  - Subhali Subhechha
AU  - Adrian Chasin
AU  - Daisuke Matsubayashi
AU  - Michiel van Setten
AU  - Yiqun Wan
AU  - Harold Dekkers
AU  - Jie Li
AU  - Shruthi Subramanian
AU  - Zhuo Chen
AU  - Nouredine Rassoul
AU  - Yuchao Jiang
AU  - Jan Van Houdt
AU  - Valeri Afanas`ev
AU  - Gouri Sankar Kar
AU  - Attilio Belmonte
PY  - 2025
DO  - 10.1109/led.2025.3549865
UR  - https://arxiv.org/abs/2507.01901
ID  - 2507.01901
ER  -