TY  - RPRT
TI  - On-chip stencil lithography for superconducting qubits
AU  - Roudy Hanna
AU  - Sören Ihssen
AU  - Simon Geisert
AU  - Umut Kocak
AU  - Matteo Arfini
AU  - Albert Hertel
AU  - Thomas J. Smart
AU  - Michael Schleenvoigt
AU  - Tobias Schmitt
AU  - Joscha Domnick
AU  - Kaycee Underwood
AU  - Abdur Rehman Jalil
AU  - Jin Hee Bae
AU  - Benjamin Bennemann
AU  - Mathieu Féchant
AU  - Mitchell Field
AU  - Martin Spiecker
AU  - Nicolas Zapata
AU  - Christian Dickel
AU  - Erwin Berenschot
AU  - Niels Tas
AU  - Gary A. Steele
AU  - Detlev Grützmacher
AU  - Ioan M. Pop
AU  - Peter Schüffelgen
PY  - 2025
DO  - 10.1063/5.0307532
UR  - https://arxiv.org/abs/2507.17005
ID  - 2507.17005
ER  -