TY  - RPRT
TI  - Laser micromachining of arbitrarily complex and overhang-free SiN nanomechanical resonators
AU  - Yahya Saleh
AU  - Zachary Louis-Seize
AU  - Timothy Hodges
AU  - David Girard
AU  - Mohammed Shakir
AU  - Mathis Turgeon-Roy
AU  - Francis Doyon-D'Amour
AU  - Chang Zhang
AU  - Arnaud Weck
AU  - Raphael St-Gelais
PY  - 2025
UR  - https://arxiv.org/abs/2507.18599
ID  - 2507.18599
ER  -