TY  - RPRT
TI  - High-quality Blazed Gratings through Synergy between E-Beam lithography and Robust Characterisation Techniques
AU  - Analía F. Herrero
AU  - Nazanin Samadi
AU  - Andrey Sokolov
AU  - Grzegorz Gwalt
AU  - Stefan Rehbein
AU  - Anke Teichert
AU  - Bas Ketelaars
AU  - Christian Zonnevylle
AU  - Thomas Krist
AU  - Christian David
AU  - Frank Siewert
PY  - 2025
UR  - https://arxiv.org/abs/2507.22697
ID  - 2507.22697
ER  -