TY  - RPRT
TI  - High-$Q$ superconducting resonators fabricated in an industry-scale semiconductor-fabrication facility
AU  - Nicolas Arlt
AU  - Karina Houska
AU  - Jochen Braumüller
AU  - Michael Kirsch
AU  - Gerhard Metzger-Brückl
AU  - Wolfgang Raberg
AU  - Thomas Stangl
AU  - Stefan Filipp
AU  - Jash Banker
AU  - Florian Brandl
PY  - 2025
UR  - https://arxiv.org/abs/2508.09577
ID  - 2508.09577
ER  -