TY  - RPRT
TI  - Multiphysics Simulation and First Prototype Development of a Microwave Plasma System for Chemical Vapour Deposition (CVD) Applications
AU  - Akash Akash
AU  - Sanjeev Kumar Pandey
AU  - Venkata Sai Teja Madana
AU  - S. Manikandan
AU  - Guhan Gunasekaran
AU  - Sundar Ravi
AU  - Sethu Narayanana
AU  - C. Nikhil
AU  - Nishant Sirse
AU  - S. Sathyan
AU  - N. Arunachalam
AU  - M. S Ramachandra Rao
PY  - 2025
UR  - https://arxiv.org/abs/2508.10459
ID  - 2508.10459
ER  -