TY  - RPRT
TI  - High-$Q$ membrane resonators using ultra-high-stress crystalline TiN films
AU  - Yuki Matsuyama
AU  - Shotaro Shirai
AU  - Ippei Nakamura
AU  - Masao Tokunari
AU  - Hirotaka Terai
AU  - Yuji Hishida
AU  - Ryo Sasaki
AU  - Yusuke Tominaga
AU  - Atsushi Noguchi
PY  - 2025
DO  - 10.1063/5.0300550
UR  - https://arxiv.org/abs/2509.02987
ID  - 2509.02987
ER  -