TY - RPRT TI - An 11.7-GHz ScAlN FBAR Filter: Case Study on Scaling Limits and Challenges AU - Sinwoo Cho AU - Byeongjin Kim AU - Lezli Matto AU - Omar Barrera AU - Pietro Simeoni AU - Yinan Wang AU - Michael Liao AU - Tzu-Hsuan Hsu AU - Jack Kramer AU - Matteo Rinaldi AU - Mark S. Goorsky AU - Ruochen Lu PY - 2025 UR - https://arxiv.org/abs/2509.03679 ID - 2509.03679 ER -