TY  - RPRT
TI  - Investigation of tantalum films growth for coplanar resonators with internal quality factors above ten million
AU  - E. V. Zikiy
AU  - N. S. Smirnov
AU  - E. A. Krivko
AU  - A. R. Matanin
AU  - A. I. Ivanov
AU  - E. I. Malevannaya
AU  - V. I. Polozov
AU  - S. V. Bukatin
AU  - D. A. Baklykov
AU  - I. A. Stepanov
AU  - S. A. Kotenkov
AU  - S. P. Bychkov
AU  - D. A. Fokin
AU  - I. A. Ryzhikov
AU  - A. V. Andriyash
AU  - I. A. Rodionov
PY  - 2026
DO  - 10.1063/5.0308010
UR  - https://arxiv.org/abs/2509.04917
ID  - 2509.04917
ER  -