TY  - RPRT
TI  - Monolithic 3D integration of tantalum pentoxide photonics on arbitrary substrates
AU  - Grant M. Brodnik
AU  - Grisha Spektor
AU  - Lindell M. Williams
AU  - Jizhao Zang
AU  - Alexa R. Carollo
AU  - Atasi Dan
AU  - Jennifer A. Black
AU  - David R. Carlson
AU  - Scott B. Papp
PY  - 2025
UR  - https://arxiv.org/abs/2509.08092
ID  - 2509.08092
ER  -