TY  - RPRT
TI  - Room temperature reactive sputtering deposition of titanium nitride with high sheet kinetic inductance
AU  - Juliang Li
AU  - Peter S. Barry
AU  - Tom Cecil
AU  - Marharyta Lisovenko
AU  - Volodymyr Yefremenko
AU  - Gensheng Wang
AU  - Serhii Kruhlov
AU  - Goran Karapetrov
AU  - Clarence Chang
PY  - 2025
UR  - https://arxiv.org/abs/2509.14133
ID  - 2509.14133
ER  -