TY  - RPRT
TI  - Learning to Optimize Capacity Planning in Semiconductor Manufacturing
AU  - Philipp Andelfinger
AU  - Jieyi Bi
AU  - Qiuyu Zhu
AU  - Jianan Zhou
AU  - Bo Zhang
AU  - Fei Fei Zhang
AU  - Chew Wye Chan
AU  - Boon Ping Gan
AU  - Wentong Cai
AU  - Jie Zhang
PY  - 2025
UR  - https://arxiv.org/abs/2509.15767
ID  - 2509.15767
ER  -