TY  - RPRT
TI  - Delta-Doped Diamond via in-situ Plasma-Distance Control
AU  - Philip Schätzle
AU  - Felix Hoffmann
AU  - Sven Mägdefessel
AU  - Patrik Straňák
AU  - Lutz Kirste
AU  - Peter Knittel
PY  - 2026
UR  - https://arxiv.org/abs/2509.17521
ID  - 2509.17521
ER  -