TY - RPRT TI - Mid-IR Light Modulators Enabled by Dynamically Tunable Ultra High-Q Silicon Membrane Metasurfaces AU - Felix Ulrich Brikh AU - Aleksei Ezerskii AU - Olesia Pashina AU - Nikita Glebov AU - Wenping Yin AU - Sergey V. Makarov AU - Mihail Petrov AU - Ivan Sinev AU - Hatice Altug PY - 2025 UR - https://arxiv.org/abs/2509.23167 ID - 2509.23167 ER -