TY  - RPRT
TI  - LLM Agents for Knowledge Discovery in Atomic Layer Processing
AU  - Andreas Werbrouck
AU  - Marshall B. Lindsay
AU  - Matthew Maschmann
AU  - Matthias J. Young
PY  - 2026
UR  - https://arxiv.org/abs/2509.26201
ID  - 2509.26201
ER  -