TY  - RPRT
TI  - Operator-Consistent Physics-Informed Learning for Wafer Thermal Reconstruction in Lithography
AU  - Ze Tao
AU  - Fujun Liu
AU  - Yuxi Jin
AU  - Ke Xu
AU  - Minghui Sun
AU  - Xiangsheng Hu
AU  - Qi Cao
AU  - Haoran Xu
AU  - Hanxuan Wang
PY  - 2025
UR  - https://arxiv.org/abs/2510.09207
ID  - 2510.09207
ER  -