TY  - RPRT
TI  - Metalorganic Chemical Vapor Deposition of AlScN Thin Films and AlScN/AlN/GaN Heterostructures
AU  - Vijay Gopal Thirupakuzi Vangipuram
AU  - Abdul Mukit
AU  - Kaitian Zhang
AU  - Salva Salmani-Rezaie
AU  - Hongping Zhao
PY  - 2025
UR  - https://arxiv.org/abs/2510.12074
ID  - 2510.12074
ER  -