TY  - RPRT
TI  - Diagnostics of a Multicusp-Assisted Inductively-Coupled Radio-Frequency Plasma Source for Plasma Immersion Ion Implantation
AU  - Moreno Joel
AU  - Jimenez Marilyn
AU  - Okerstrom Daniel
AU  - Bradley Michael P.
AU  - Couëdel Lénaïc
PY  - 2026
UR  - https://arxiv.org/abs/2510.18384
ID  - 2510.18384
ER  -