TY - RPRT TI - Fabrication and Structural Analysis of Trilayers for Tantalum Josephson Junctions with Ta$_2$O$_5$ Barriers AU - Raahul Potluri AU - Rohin Tangirala AU - Jiangteng Liu AU - Alejandro Barrios AU - Praveen Kumar AU - Sage R. Bauers AU - Peter V. Sushko AU - David P. Pappas AU - Serena Eley PY - 2026 UR - https://arxiv.org/abs/2510.20114 ID - 2510.20114 ER -