TY  - RPRT
TI  - Characterization of heat transfer in 3D CMOS structures using Sideband Scanning Thermal Wave Microscopy
AU  - Valentin Fonck
AU  - Mohammadali Razeghi
AU  - Jean Spièce
AU  - Phillip Dobson
AU  - Jonathan Weaver
AU  - George Ridgard
AU  - Grayson M. Noah
AU  - Pascal Gehring
PY  - 2025
UR  - https://arxiv.org/abs/2510.27529
ID  - 2510.27529
ER  -