TY  - RPRT
TI  - Directional atomic layer etching of MgO-doped lithium niobate using Br-based plasma
AU  - Ivy I. Chen
AU  - Mariya Ezzy
AU  - Emily Hsue-Chi Shi
AU  - Clifford F. Frez
AU  - Suraj
AU  - Lin Yi
AU  - Mahmood Bagheri
AU  - James R. Renzas
AU  - Alireza Marandi
AU  - Frank Greer
AU  - Austin J. Minnich
PY  - 2025
UR  - https://arxiv.org/abs/2511.01825
ID  - 2511.01825
ER  -