TY  - RPRT
TI  - Sputtered AlN buffer layer for low-loss crystalline AlN-on-sapphire integrated photonics
AU  - Samuele Brunetta
AU  - Samantha Sbarra
AU  - Brandon Shuen Yi Loke
AU  - Jean-François Carlin
AU  - Nicolas Grandjean
AU  - Camille-Sophie Brès
AU  - Raphaël Butté
PY  - 2025
DO  - 10.1021/acsphotonics.5c02661
UR  - https://arxiv.org/abs/2511.05666
ID  - 2511.05666
ER  -