TY - RPRT TI - All-nitride superconducting qubits based on atomic layer deposition AU - Danqing Wang AU - Yufeng Wu AU - Naomi Pieczulewski AU - Prachi Garg AU - Manuel C. C. Pace AU - C. G. L. Bøttcher AU - Baishakhi Mazumder AU - David A. Muller AU - Hong X. Tang PY - 2025 UR - https://arxiv.org/abs/2511.08931 ID - 2511.08931 ER -