TY  - RPRT
TI  - Residual Stress Anisotropy In Thin-Film Lithium Niobate For Stress-Managed MEMS
AU  - Byeongjin Kim
AU  - Ian Anderson
AU  - Tzu-Hsuan Hsu
AU  - Ziqian Yao
AU  - Mihir Chaudhari
AU  - Sinwoo Cho
AU  - Ruochen Lu
PY  - 2025
DO  - 10.1109/mems64181.2026.11419544
UR  - https://arxiv.org/abs/2511.17474
ID  - 2511.17474
ER  -