TY  - RPRT
TI  - Chemical Vapor Deposition of Nitrides by Carbon-free Brominated Precursors
AU  - Stefano Leone
AU  - Teresa Duarte
AU  - Hanspeter Menner
AU  - Jannik Richter
AU  - Lutz Kirste
AU  - Sven Maegdefessel
AU  - Felix Hoffmann
AU  - Byeongchan So
AU  - Ruediger Quay
PY  - 2025
DO  - 10.1002/pssa.202600005
UR  - https://arxiv.org/abs/2512.06566
ID  - 2512.06566
ER  -