TY - RPRT TI - Beta-Ga2O3 Sub-Micron FinFETs with Si Delta-Doped Channel Modulating Charge Density Above 3x10^13 cm^-2 AU - Nabasindhu Das AU - Cameron Gorsak AU - Ankita Kashyap AU - Advait Gilankar AU - Pushpanshu Tripathi AU - Salil A Paranjape AU - Trevor Thornton AU - Hari Nair AU - Nidhin Kurian Kalarickal PY - 2025 UR - https://arxiv.org/abs/2512.09279 ID - 2512.09279 ER -